อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ใช้ผงซิลิกอนคาร์ไบด์สีดำ ซิลิกอนคา
ร์ไบด์มีอยู่ในรูปแบบผลึกประมาณ 250 รูปแบบ ความแตกต่างของ SiC มีลักษณะเป็นโครงสร้างผลึกคล้ายคลึงกันในตระกูลใหญ่ที่เรียกว่าโพลีไทป์ พวกมันเป็นรูปแบบของสารประกอบเคมีชนิดเดียวกันที่เหมือนกันในสองมิติและต่างกันในมิติที่สาม ดังนั้นจึงสามารถดูเป็นเลเยอร์ที่ซ้อนกันในลำดับที่แน่นอนได้
อัลฟ่าซิลิคอนคาร์ไบด์ (α-SiC) เป็นโพลิมอร์ฟที่พบได้บ่อยที่สุด มันเกิดขึ้นที่อุณหภูมิสูงกว่า 1700 °C และมีโครงสร้างผลึกหกเหลี่ยม (คล้ายกับ Wurtzite) การดัดแปลงเบต้า (β-SiC) ด้วยโครงสร้างผลึกสังกะสีผสม (คล้ายกับเพชร) จะเกิดขึ้นที่อุณหภูมิต่ำกว่า 1700 °C จนกระทั่งเมื่อไม่นานมานี้ รูปแบบเบต้ามีการใช้งานเชิงพาณิชย์ค่อนข้างน้อย แม้ว่าขณะนี้มีความสนใจเพิ่มขึ้นในการใช้งานเพื่อสนับสนุนตัวเร่งปฏิกิริยาที่ต่างกัน เนื่องจากมีพื้นที่ผิวสูงกว่าเมื่อเทียบกับรูปแบบอัลฟา
คุณสมบัติของซิลิกอนคาร์ไบด์
| ขนาดอนุภาค | การกระจายอนุภาค (µm) | |||
| ขนาดอนุภาคสูงสุด | ขนาดอนุภาคที่ d 03 | ขนาดอนุภาคที่ d 50 | ขนาดอนุภาคที่ d 94 | |
| # 240 | ≤ 127 | ≤ 103 | 58.6 ± 3.0 | ≥ 40.0 |
| # 280 | ≤ 112 | ≤ 87.0 | 49.4 ± 3.0 | ≥ 33.0 |
| # 320 | ≤ 98.0 | ≤ 74.0 | 41.1 ± 2.5 | ≥ 27.0 |
| #360 | ≤ 86.0 | ≤ 66.0 | 36.1 ± 2.0 | ≥ 23.0 |
| # 400 | ≤ 75.0 | ≤ 58.0 | 30.9 ± 2.0 | ≥ 20.0 |
| # 500 | ≤ 63.0 | ≤ 50.0 | 26.4 ± 2.0 | ≥ 16.0 |
| # 600 | ≤ 53.0 | ≤ 43.0 | 21.1 ± 1.5 | ≥ 13.0 |
| #700 | ≤ 45.0 | ≤ 37.0 | 17.9 ± 1.3 | ≥ 11.0 |
| #800 | ≤ 38.0 | ≤ 31.0 | 14.7 ± 1.0 | ≥ 9.00 |
| # 1,000 | ≤ 32.0 | ≤ 27.0 | 11.9 ± 1.0 | ≥ 7.00 |
| #1200 | ≤ 27.0 | ≤ 23.0 | 9.90 ± 0.80 | ≥ 5.50 |
| # 1500 | ≤ 23.0 | ≤ 20.0 | 8.40 ± 0.60 | ≥ 4.50 |
| #2000 | ≤ 19.0 | ≤ 17.0 | 6.90 ± 0.60 | ≥ 4.00 |
| # 2500 | ≤ 16.0 | ≤ 14.0 | 5.60 ± 0.50 | ≥ 3.00 |
| # 3000 | ≤ 13.0 | ≤ 11.0 | 4.00 ± 0.50 | ≥ 2.00 |
| # 4000 | ≤ 11.0 | ≤ 8.00 | 3.00 ± 0.40 | ≥ 1.30 |
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์